SMIC a commencé à tester sa propre machine DUV et souhaite maintenir entièrement le processus de production en Chine.
Le plus grand fabricant de puces de Chine, Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), teste selon le Financial Times l’une des premières machines de lithographie DUV à immersion (ultraviolet profond) chinoises.
Prête pour la production en 2027
Le système est une machine de lithographie DUV de 28 nanomètres (nm) qui peut également être utilisée pour la production de 7 nm ou même 5 nm grâce aux techniques de multi-patterning. Le développement est réalisé par Shanghai Yuliangsheng Technology Co, une start-up locale qui serait liée à Huawei.
La machine se compose principalement de composants chinois, mais certains sont encore importés. Les outils DUV proviennent de l’entreprise néerlandaise ASML, écrit Trendforce. L’entreprise tente de maintenir toute la chaîne d’approvisionnement en Chine. Ainsi, elle n’est plus liée aux règles d’exportation américaines ou européennes. L’objectif est de commencer activement la production de la machine chez SMIC en 2027.
Quelques obstacles restent à surmonter
Bien que SMIC affirme que les puces de 7 nm et 5 nm sont possibles sur cette machine de 28 nm via le multipatterning, les experts indiquent qu’une modification importante de la conception est d’abord nécessaire. Même si la machine peut produire du 28 nm en 2027, il faudra encore des années avant que SMIC puisse passer à 16 nm et 7 nm. La production inférieure à 10 nm sur ses propres machines semble donc réalisable au plus tôt vers 2030.